激光塵埃粒子計數(shù)器（APC）在監(jiān)測和維護潔凈室空氣的清潔度方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。APC有兩種基本類型：便攜式和定點遠(yuǎn)程。每種類型都有其獨特的功能和應(yīng)用，使其適用于污染控制的各種場景。
便攜式激光塵埃粒子計數(shù)器APC是配備有控制儀器的用戶界面或操作面板的獨立單元。這些設(shè)備包括一個內(nèi)置的取樣系統(tǒng)，便于運輸。用戶界面允許用戶建立樣本參數(shù)、收集數(shù)據(jù)，并在必要時將這些數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠肯到y(tǒng)。空氣取樣系統(tǒng)，無論是真空泵還是鼓風(fēng)機，都必須提供經(jīng)過充分過濾的排氣系統(tǒng)，以防止污染測試環(huán)境。便攜式激光塵埃粒子計數(shù)器APC可以使用內(nèi)部電池或通過交流壁式插座運行。
便攜式APC根據(jù)其氣流采樣率進(jìn)行區(qū)分，以立方英尺/分鐘（CFM）或升/分鐘（LPM）為單位報告每分鐘的體積。主要類型包括：
1. Handheld APCs：這些具有0.1 CFM（2.83 LPM）或更低的低樣品流速。它們結(jié)構(gòu)緊湊，便于快速檢查。
1. Standard Flow Portable APCs（ApexZ3）：樣品流速為1.0 CFM（28.3 LPM），是一般潔凈室操作中最常用的類型。
High Flow Portable APCs（ApexZ50）：這些樣品的流速大于1.0 CFM（28.3 LPM）。常見的高流速包括50 LPM、2.0 CFM、75 LPM和100 LPM。這些高流速儀器在潔凈室認(rèn)證測試中非常有用，因為它們可以快速對大量空氣進(jìn)行采樣。例如，高流速APC可以在a級環(huán)境中比標(biāo)準(zhǔn)流速APC更快地采樣一立方米空氣。
定點遠(yuǎn)程粒子計數(shù)器APC比便攜式APC更小、侵入性更小、更堅固，允許它們連接到工藝設(shè)備、潔凈室墻壁或運輸設(shè)備上。它們非常適合監(jiān)控在制造過程中產(chǎn)品完整性可能面臨風(fēng)險的關(guān)鍵工藝位置
APC的樣品流速通常為0.1 CFM（2.83 LPM）或1.0 CFM（28.3 LPM），后者在大多數(shù)應(yīng)用中是首選。這些設(shè)備可以記錄數(shù)據(jù)或?qū)⑵鋫鬏數(shù)酵獠肯到y(tǒng)，如建筑管理系統(tǒng)（BMS）、不可行粒子監(jiān)測系統(tǒng)（NVPMS）或設(shè)施監(jiān)測系統(tǒng)（FMS）。
遠(yuǎn)程粒子計數(shù)器APC的類型：遠(yuǎn)程APC主要有兩種類型：帶內(nèi)置泵的和沒有內(nèi)置泵的。
Remote APCs with Built-in Pumps：這些裝置通過泵或鼓風(fēng)機內(nèi)置了樣品處理系統(tǒng)，并對裝置排出的所有空氣進(jìn)行了必要的過濾。它們比沒有泵的裝置更大、更響亮、更昂貴，但不需要全設(shè)施的真空泵和分配系統(tǒng)。
Remote APCs without Pumps：這些裝置需要外部真空源，比內(nèi)置泵的裝置更小、更安靜、更便宜。它們的服務(wù)成本較低，因為沒有過濾器或小型泵需要維護。然而，配套設(shè)施范圍內(nèi)的真空泵和分配系統(tǒng)需要定期維修，必須為APC提供足夠的流量和真空，以使其正常運行。一些遠(yuǎn)程APC具有內(nèi)置的流量監(jiān)測功能，以確保正確的空氣樣本流量。
了解不同類型的激光塵埃粒子計數(shù)器及其具體應(yīng)用對于在潔凈室和其他敏感環(huán)境中保持污染控制至關(guān)重要。便攜式APC為各種應(yīng)用提供了靈活性和易用性，而定點遠(yuǎn)程APC則提供了強大的連續(xù)監(jiān)測解決方案。通過選擇合適類型的APC，企業(yè)可以確保其符合嚴(yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)，并保持無污染的環(huán)境。
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