為什么需要潔凈室：由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機(jī)物等)，因?yàn)檫@些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。
潔凈室照片-UMC官網(wǎng)
溫度：23±1℃
濕度：45±3%rh
噪聲：煩惱效應(yīng)，語言通訊干擾，影響工作效率，低頻噪聲影響設(shè)備
壓力：正壓與負(fù)壓是相對(duì)而言，一個(gè)潔凈室對(duì)大氣而言是正壓潔凈室，但對(duì)另外一個(gè)房間而言可能是負(fù)壓潔凈室。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不小于10Pa.
靜電：地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定，采用靜電耗散性材料，表面電阻率1?105Ω- 1?1012Ω,地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，流動(dòng)液體，氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。
振動(dòng)：精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。振動(dòng)尤其對(duì)光刻設(shè)備影響巨大。
生產(chǎn)區(qū)：1000級(jí)
黃光區(qū)：100級(jí)
Mask光罩區(qū)：10級(jí)
通常通過服裝，MAU，F(xiàn)FU及入口的風(fēng)淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產(chǎn)生。
這個(gè)種方式是半導(dǎo)體業(yè)界最常用的一種方式，也叫激光粒度儀，激光粒度儀是基于光衍射現(xiàn)象設(shè)計(jì)的，當(dāng)光通過顆粒時(shí)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象（其本質(zhì)是電磁波和物質(zhì)的相互作用）。衍射光的角度與顆粒的大小成反比。不同大小的顆粒在通過激光光束時(shí)其衍射光會(huì)落在不同的位置，位置信息反映顆粒大?。煌瑯哟蟮念w粒通過激光光束時(shí)其衍射光會(huì)落在相同的位置。衍射光強(qiáng)度的信息反映出樣品中相同大小的顆粒所占的百分比多少。激光衍射法就是采用一系列的光敏檢測(cè)器來測(cè)量位置粒徑的顆粒在不同角度上的衍射光的強(qiáng)度，使用衍射模型，通過數(shù)學(xué)反演，然后得到樣品的粒度分布。通過該位置檢測(cè)器接收到的衍射光強(qiáng)度，得到所對(duì)應(yīng)顆粒粒徑的百分比含量。
?Lighthouse SOLAIR 1100LD（激光二極管）是業(yè)界領(lǐng)先的同類便攜式粒子計(jì)數(shù)器，采用激光二極管技術(shù)，具有0.1微米的靈敏度和1.0 CFM（28.3 LPM）的流速。傳統(tǒng)的HeNe（氦氖）粒子計(jì)數(shù)器需要頻繁清潔，定期更換激光管，并且濃度限制較低。SOLAIR 1100LD設(shè)計(jì)用于ISO 1級(jí)至7級(jí)潔凈室，無需擔(dān)心污染環(huán)境或濃度超標(biāo)。
其他環(huán)境測(cè)試：SOLAIR能夠記錄多達(dá)4個(gè)環(huán)境傳感器的數(shù)據(jù)，這些傳感器插入SOLAIR并由其供電。數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在3000條記錄的緩沖區(qū)中，并可通過USB密鑰與粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)一起下載到您的計(jì)算機(jī)。
可靠性：SOLAIR便攜式粒子計(jì)數(shù)器系列采用先進(jìn)的激光二極管技術(shù)和閉環(huán)反饋真空系統(tǒng)，確保準(zhǔn)確的樣品體積和長(zhǎng)期可靠性。SOLAIR 1100LD的設(shè)計(jì)、制造和校準(zhǔn)均符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)，確保顆粒計(jì)數(shù)的準(zhǔn)確性。同時(shí)，SOLAIR還能存儲(chǔ)多達(dá)8個(gè)粒子通道的3000條粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)記錄和50個(gè)采樣和報(bào)告配方，所有數(shù)據(jù)都能快速、可靠地傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或監(jiān)控系統(tǒng)中。
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